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| 装置の原理 |
きわめて細く絞った電子線束を試料表面に照射して，その部分から放射される特性X線の波長と強度をX線分光器で測定し，その微小部に含ま れている 元素を定性または定量します。
| 操作方法と利用範囲 |
大部分の機能がコンピューターによって自動化されているため，定性分析，定量分析，面分析，線分析をマウスオペレーションで単純にクリッ
クするだ けで行えます。しかし精度の高い測定にはそれなりの知識と経験が必要です。
金属や酸化物に含まれる軽元素以外では高精度の測定が可能です。
| 申し込み窓口 |
（管理責任者）森下 知晃 理工研究域地球社会基盤学系 076-264-6532
| 申し込み及び利用の仕方 |
初めて使用する場合は講習会を受けたのち，装置に関して習熟した者と２〜３回一緒に使用する必要があります。
利用を希望する場合には、管理責任者に連絡。
| 使用料金 |
使用者の所属する研究室が必要経費及び修理代金などを支払うことになります。