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| 装置の概要 |
主に固体試料の表面形状・断面観察および元素組成分析が可能である。表面形状の観察に関して、最小寸法10
nm程度の分解能を持っている。
試料に電子線を照射し、発生する二次電子をマッピング計測することにより、表面形状および断面観察を行う。また、同時に二次電子に対する波
長・エネルギー計測を行うことにより試料の素性分析を行う。電界放射型走査型電子顕微鏡である。
| 申し込み窓口 |
（管理責任者）
川江 健 理工研究域電子情報通信学系 076-234-4881
（オペレーター・トラブル対応者）
杉山 博則 総合技術部機器分析部門
| 申し込み及び利用の仕方 |
初めて利用する時には、毎年４・５・６月および９・10月に実施される取扱い説明会を受講し、利用許可を得ること。（規定外の時期の受講を
希望する場合には要相談）
利用予約する際には、上記の申し込み窓口へ連絡。利用開始の２日前まで予約可能。依頼分析有り（ただし、要相談）
利用可能な時間は、平日9:00〜19:00。装置の設置場所は、VBL棟２階（先端材料科学ラボラトリー）204、205号室。
| 使用料金 |
利用1時間あたり1,000円（9:00〜19:00）。利用開始の7日前からキャンセル料（100%）が発生。